im IONTOF Karriereforum
IONTOF Hauptsitz, Münster, Deutschland
Aktuelle Stellenausschreibungen
 
Fachkraft für Export, Versand und Logistik (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen und stellt an ihrem Hauptsitz im Wissenschaftspark Münster innovative High-Tech-Geräte zur Oberflächenanalytik für nam-hafte Kunden in Industrie und Forschung her. Um unsere Führungsposition in diesem Zu-kunftsmarkt weiter auszubauen, setzen wir auch auf die zeitnahe und effiziente Belieferung unserer Kunden in aller Welt. Daher suchen wir zum nächstmöglichen Zeitpunkt zur Verstär-kung unseres engagierten Teams in Vollzeit eine Fachkraft für Export, Versand und Logistik (m/w/d).


Ihre Aufgaben
Erstellung von Lieferpapieren und Ausfuhranmeldungen
Anmeldung von Sendungen bei Kurierdiensten
fachgerechtes Verpacken unserer hochwertigen Ersatzteile
Bearbeitung des Wareneingangs
Kommissionierung, Lagerhaltung und Inventur
allgemeine Verwaltungstätigkeiten
Das bringen Sie mit
eine abgeschlossene kaufmännische Berufsausbildung, gern im Speditionswesen
solide Englischkenntnisse
Erfahrung in der Exportabwicklung
Teamfähigkeit und ein hohes Qualitätsbewusstsein, auch unter gelegentlichem Zeitdruck
Freude an einem ausgewogenen Mix aus kaufmännischen und praktischen Tätigkeiten
körperliche Belastbarkeit für die gelegentliche Handhabung schwerer Komponenten


Das können Sie erwarten
einen zukunftssicheren Job mit jährlichen Gehaltsanpassungen und Sonderzahlungen
flexible Arbeitszeiten für eine gute Vereinbarkeit von Familie und Beruf
Für Ihre Zukunft bieten wir Ihnen eine betriebliche Altersvorsorge an und unterstützen Sie beim Vermögensaufbau mit vermögenswirksamen Leistungen.
Unsere unternehmensfinanzierte, betriebliche Krankenzusatzversicherung verbessert die Leistungen, die Sie bei medizinischer Betreuung erhalten.
Sie können bei uns ein Jobbike leasen und ein bezuschusstes Deutschlandticket in Anspruch nehmen.
Passen wir zu Ihnen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung, in der Sie uns gerne auch den möglichen Einstiegstermin nennen und uns Ihren Gehaltswunsch verraten.


Kontakt
IONTOF GmbH
Claudia Schirdewan
Heisenbergstraße 15
48149 Münster

 
Technischer Projektmanager / Ingenieur (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen und stellt an ihrem Hauptsitz im Wissenschaftspark Münster innovative High-Tech-Geräte zur Oberflächenanalytik für namhafte Kunden in Industrie und Forschung her. Um unsere Führungsposition in diesem Zukunftsmarkt weiter auszubauen, setzen wir auch auf eine kompetente und erfolgreiche Kundenbetreuung. Daher suchen wir zum nächstmöglichen Zeitpunkt zur Verstärkung unseres engagierten Teams in Vollzeit einen technischen Projektmanager / Ingenieur (m/w/d).


Ihre Aufgaben
Eigenverantwortliche Projektsteuerung unserer hochentwickelten Produkte von der ersten Inbetriebnahme in der Fertigung bis zur Installation bei unseren internationalen Kunden sowie Sicherstellung des spezifikationsgemäßen Betriebs
Interne und externe Schulungen der Mitarbeiter und internationaler Kunden sowie Analysemethodenentwicklung
Weiterentwicklung von Testprozeduren für die gesamten Anlagen und einzelne Komponenten
Dokumentation, Know-How-Transfer und Problemlösung in Zusammenarbeit mit anderen Fachabteilungen
direkter Austausch mit unserer Forschungs- und Entwicklungsabteilung zur Weiterentwicklung unserer Produkte
Ihr Qualifikation
abgeschlossenes technisches oder naturwissenschaftliches Studium (Physik, Chemie, etc)
Promotion wünschenswert
Interesse an Elektronik, Ultrahochvakuumtechnik und Oberflächenanalytik
sehr gute Englischkenntnisse, weitere Fremdsprache wünschenswert
Fähigkeit, komplexe Sachverhalte zu erfassen und weiterzuvermitteln
Reisebereitschaft
technisches Geschick
Offenheit und interkulturelle Kompetenz


Unser Angebot
Spannende Aufgaben in internationaler Umgebung
einen zukunftssicheren Job mit einem fairen Gehalt, jährlichen Gehaltsanpassungen und Sonderzahlungen
flexible Arbeitszeiten mit der Möglichkeit zur Remote-Arbeit
Für Ihre Zukunft bieten wir Ihnen eine betriebliche Altersvorsorge an und unterstützen Sie beim Vermögensaufbau mit vermögenswirksamen Leistungen.
Unsere unternehmensfinanzierte, betriebliche Krankenzusatzversicherung verbessert die Leistungen, die sie bei medizinischer Betreuung erhalten.
Sie können bei uns ein Jobbike leasen und ein bezuschusstes Deutschlandticket in Anspruch nehmen.
Passen wir zu Ihnen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung, in der Sie uns gerne auch den möglichen Einstiegstermin nennen und uns Ihren Gehaltswunsch verraten.


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IONTOF GmbH
Claudia Schirdewan
Heisenbergstraße 15
48149 Münster

 
Bestücker / Löter / Montierer Elektronik (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein weltweit operierendes, mittelständisches Unternehmen mit Haupt-sitz im Wissenschaftspark in Münster. Als langjähriger Technologieführer produzieren und ver-treiben wir moderne Lösungen für die Oberflächenanalytik in Industrie und Forschung. Zur Verstärkung unseres Teams suchen wir in Vollzeit einen Bestücker / Löter / Montierer Elektronik (m/w/d).


Ihre Aufgaben
Platinen bestücken und löten mit SMDs und bedrahteten Bauteilen in Handarbeit
leichte elektromechanische Montage von Modulen und Geräten
Herstellung von Kabeln
Ihr Qualifikation
Erfahrungen in der Elektronikmontage wünschenswert, aber keine Voraussetzung
Feinmotorik und Fingerfertigkeit
gutes Sehvermögen
Teamfähigkeit
Sorgfalt und Konzentrationsfähigkeit


Das können Sie erwarten
einen zukunftssicheren Job mit einem fairen Gehalt, jährlichen Gehaltsanpassungen und Sonderzahlungen
flexible Arbeitszeiten, keine Schichtarbeit, kein Akkord
flache Hierarchien, kurze Wege, partnerschaftliche Unternehmenskultur
Wir bieten Ihnen eine betriebliche Altersvorsorge an und unterstützen Sie beim Vermögensaufbau mit vermögenswirksamen Leistungen
Unsere unternehmensfinanzierte, betriebliche Krankenzusatzversicherung verbessert die Leistungen, die Sie bei medizinischer Betreuung erhalten
Sie können bei uns ein Jobbike leasen und/oder ein bezuschusstes Deutschlandticket in Anspruch nehmen
Passen wir zu Ihnen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung, in der Sie uns gerne auch den möglichen Einstiegstermin nennen und uns Ihren Gehaltswunsch verraten.


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IONTOF GmbH
Claudia Schirdewan
Heisenbergstraße 15
48149 Münster

 
Büroassistent (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen und stellt an ihrem Hauptsitz im Wissenschaftspark Münster innovative High-Tech-Geräte zur Oberflächenanalytik für namhafte Kunden in Industrie und Forschung her. Um unsere Führungsposition in diesem Zukunftsmarkt weiter auszubauen, setzen wir auch auf eine kompetente und effiziente Verwaltung. Daher suchen wir zum nächstmöglichen Zeitpunkt zur Verstärkung unseres engagierten Teams in Vollzeit eine(n) Büroassistent (m/w/d).


Ihre Aufgaben
allgemeine Sekretariats- und Assistenzaufgaben
Bearbeitung des (elektronischen) Posteingangs
unterstützende Personalverwaltung
Verwaltung des firmeneigenen Fuhrparks
Beschaffung und Verwaltung des Büromaterials und -mobiliars
Bearbeitung von externen Auftragsbestätigungen
Das bringen Sie mit
abgeschlossene kaufmännische Ausbildung
gute PC-Kenntnisse
solide Englischkenntnisse in Wort und Schrift
ausgeprägtes Organisationstalent
Teamfähigkeit und eine verantwortungsvolle, zuverlässige Arbeitsweise


Das können Sie erwarten
einen zukunftssicheren Job mit jährlichen Gehaltsanpassungen und Sonderzahlungen
flexible Arbeitszeiten für eine gute Vereinbarkeit von Familie und Beruf
Für Ihre Zukunft bieten wir Ihnen eine betriebliche Altersvorsorge an und unterstützen Sie beim Vermögensaufbau mit vermögenswirksamen Leistungen.
Unsere unternehmensfinanzierte, betriebliche Krankenzusatzversicherung verbessert die Leistungen, die Sie bei medizinischer Betreuung erhalten.
Sie können bei uns ein Jobbike leasen und ein bezuschusstes Deutschlandticket in Anspruch nehmen.
Passen wir zu Ihnen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung, in der Sie uns gerne auch den möglichen Einstiegstermin nennen und uns Ihren Gehaltswunsch verraten.


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IONTOF GmbH
Claudia Schirdewan
Heisenbergstraße 15
48149 Münster

 
Software-Entwickler (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen und stellt an ihrem Hauptsitz im Wissenschaftspark Münster innovative High-Tech-Geräte zur Oberflächenanalytik für namhafte Kunden in Industrie und Forschung her. Um unsere Führungsposition in diesem Zukunftsmarkt weiter auszubauen, suchen wir zum nächstmöglichen Zeitpunkt zur Verstärkung unseres engagierten Teams in Vollzeit einen Software-Entwickler (m/w/d).


Ihre Aufgaben
Software-Komponenten und Applikationen im Bereich der Gerätesteuerung, Datenerfassung, -auswertung und -präsentation entwickeln, testen und erstellen
Überprüfung, Dokumentation und Refactoring von bestehenden Software-Komponenten und Anwendungen
Ihr Qualifikation
Abgeschlossenes naturwissenschaftliches oder technisches Studium
Hervorragende Kenntnisse der Programmiersprachen C++ und/oder Python
Umfassende Erfahrungen in der projektorientieren Programmierung
Teamfähigkeit und der ausgeprägte Wille, Lösungen höchster Qualität zu erarbeiten
Sehr gute Englischkenntnisse
Kenntnisse in agilen Entwicklungsmethoden, Patterns, JScript und in der Entwicklung von COM/DCOM-Komponenten mit der Microsoft ATL sind von Vorteil


Unser Angebot
Förderung und Unterstützung bei der beruflichen wie persönlichen Weiterentwicklung
Eine Karriere in einem zukunftssicheren Unternehmen mit einer einmaligen Unternehmenskultur, verbunden mit einer attraktiven Vergütung
Eine umfangreiche Einarbeitung durch ein starkes, innovatives Team
Ein kooperatives Arbeitsklima mit Freiraum zur Verwirklichung eigener Ideen
Flexible Arbeitszeiten und die Möglichkeit, Aufgaben auch mobil zu erledigen
Wenn Sie ein Teamplayer sind, der gern selbständig und verantwortungsvoll arbeitet, dann sind Sie bei uns richtig. Auch Berufseinsteiger/-innen sind bei uns herzlich willkommen. Wir bieten Ihnen eine unbefristete Anstellung mit einer langfristigen Perspektive. Freuen Sie sich auf eine angenehme Arbeitsatmosphäre mit kurzen Entscheidungswegen!

Fühlen Sie sich angesprochen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung mit Gehaltsvorstellung und möglichem Eintrittstermin, vorzugsweise per E-Mail.


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Claudia Schirdewan
Heisenbergstraße 15
48149 Münster

 
Full-Stack-Entwickler für globale Workflows (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen und stellt an ihrem Hauptsitz im Wissenschaftspark Münster innovative High-Tech-Geräte zur Oberflächenanalytik für namhafte Kunden in Industrie und Forschung her. Um unsere Führungsposition in diesem Zukunftsmarkt weiter auszubauen, suchen wir zum nächstmöglichen Zeitpunkt zur Verstärkung unseres engagierten Teams in Vollzeit einen Full-Stack-Entwickler für globale Workflows (m/w/d).


Ihre Aufgaben
Entwurf, Entwicklung, Test und Deployment von innovativen Cloud-Lösungen für Workflows mit den IONTOF Niederlassungen und anderen internationalen Organisationen
Weiterentwicklung, Test, Dokumentation und Refactoring des Front- und Backends des bestehenden Workflow-Systems einschließlich damit verbundener Software-Komponenten und Anwendungen
Ihr Qualifikation
Abgeschlossenes technisches oder naturwissenschaftliches Studium
Hervorragende Kenntnisse in Python und JavaScript
Umfassende Erfahrungen mit SQL, HTML5, CSS und JavaScript, Datenbankadministration und Code-Versionierung
Teamfähigkeit und der ausgeprägte Wille, gemeinsam Lösungen höchster Qualität zu erarbeiten
Kenntnisse in agilen Entwicklungsmethoden, Docker und Debian-Linux
Sehr gute Englischkenntnisse
Erfahrung im Umgang mit weiteren Web-Technologien ist von Vorteil


Unser Angebot
Förderung und Unterstützung bei der beruflichen wie persönlichen Weiterentwicklung
Eine Karriere in einem zukunftssicheren Unternehmen mit einer einmaligen Unternehmenskultur, verbunden mit einer attraktiven Vergütung
Eine umfangreiche Einarbeitung durch ein starkes, innovatives Team
Ein kooperatives Arbeitsklima mit Freiraum zur Verwirklichung eigener Ideen
Flexible Arbeitszeiten und die Möglichkeit, Aufgaben auch mobil zu erledigen
Wenn Sie ein Teamplayer sind, der gern selbständig und verantwortungsvoll arbeitet, dann sind Sie bei uns richtig. Auch Berufseinsteiger/-innen sind bei uns herzlich willkommen. Wir bieten Ihnen eine unbefristete Anstellung mit einer langfristigen Perspektive. Freuen Sie sich auf eine angenehme Arbeitsatmosphäre mit kurzen Entscheidungswegen!

Fühlen Sie sich angesprochen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung mit Gehaltsvorstellung und möglichem Eintrittstermin, vorzugsweise per E-Mail.


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48149 Münster

 
Elektroniker (m/w/d)
Die IONTOF GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen und stellt an ihrem Hauptsitz im Wissenschaftspark Münster innovative High-Tech-Geräte zur Oberflächenanalytik für namhafte Kunden in Industrie und Forschung her. Um unsere Führungsposition in diesem Zukunftsmarkt weiter auszubauen, setzen wir auch auf eine kompetente und erfolgreiche Kundenbetreuung. Daher suchen wir zum nächstmöglichen Zeitpunkt zur Verstärkung unseres engagierten Teams in Vollzeit eine(n) Elektroniker (m/w/d).


Ihre Aufgaben
Eigenverantwortliche Montage, Überprüfung und Reparatur elektronischer Platinen und Baugruppen
Muster- und Prototypenbau in der Entwicklung
Dokumentation von Reparaturen, Erstellen und Überprüfen technischer Stücklisten
Anleitung und Unterstützung der Produktion
Ihr Qualifikation
Abgeschlossene Berufsausbildung im Bereich Elektronik / Mechatronik
Erfahrung in der Montage / im Löten elektronischer Baugruppen
Kenntnisse elektronischer Bauelemente und üblicher Messgeräte
Gewissenhafte, präzise, selbständige Arbeitsweise
Gute Auffassungsgabe, Teamfähigkeit und Lernbereitschaft


Unser Angebot
Förderung und Unterstützung bei der beruflichen wie persönlichen Weiterentwicklung
Eine Karriere in einem zukunftssicheren Unternehmen mit einer einmaligen Unternehmenskultur, verbunden mit einer attraktiven Vergütung
Eine umfangreiche Einarbeitung durch ein starkes, innovatives Team
Ein kooperatives Arbeitsklima mit Freiraum zur Verwirklichung eigener Ideen
Wenn Sie ein Teamplayer sind, der gern selbständig und verantwortungsvoll arbeitet, dann sind Sie bei uns richtig. Wir bieten Ihnen eine unbefristete Anstellung mit einer langfristigen Perspektive und flexiblen Arbeitszeiten. Freuen Sie sich auf eine angenehme Arbeitsatmosphäre mit kurzen Entscheidungswegen!

Fühlen Sie sich angesprochen? Dann freuen wir uns auf Ihre vollständige Bewerbung mit Gehaltsvorstellung und möglichem Eintrittstermin, vorzugsweise per E-Mail.


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IONTOF GmbH
Claudia Schirdewan
Heisenbergstraße 15
48149 Münster

 
Masterarbeit "Erstellung einer LEIS Referenzdaten-Sammlung"
IONTOF ist ein Hersteller von innovativen Geräten für die Oberflächenanalyse mit verschiedenen Produktlinien für Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, ToF-SIMS) und niederenergetische Ionenstreuung (Low Energy Ion Scattering, LEIS).
Gegründet als klassisches spin-off der Universität Münster ist IONTOF heute der technologische Vorreiter im Bereiche der ToF-SIMS und LEIS Geräte. Um unsere führende Position zu stärken, möchten wir Studierenden die Möglichkeit geben, Einblick in diese Felder zu erlangen und eine Masterarbeit anzufertigen.


Beschreibung der Tätigkeit
Verbesserung der Quantifizierung von LEIS Spektren und Aufbau einer Sammlung von Referenzdaten:

Beherrschen der Grundlagen und Anwendung von LEIS sowie Bedienung des Gerätes, inkl. Software für die Gerätesteuerung und Datenauswertung
Entwicklung und Umsetzung eines Messplans, inkl. Probenauswahl, Präparation, in-situ Vorbehandlung zur Beseitigung von atmosphärischen Kontaminationen und Analyse unter verschiedenen Messbedingungen
Datenanalyse, Visualisierung und strukturierte Datenablage der Messergebnisse
Validierung der Ergebnisse durch Verwendung mehrerer Proben und ggfls. verschiedener LEIS Geräte
Idealerweise Anfertigung eines Manuskripts für eine datenorientierte wissenschaftliche Zeitung (peer-reviewed)
Erwartete Qualifikation
Fortgeschrittenes Studium der Materialwissenschaften, Analytischen Chemie, Oberflächenwissenschaften oder Scientific Instrumentation
Fähigkeit schnell zu lernen und strukturiert,mit Aufmerksamkeit für die Details zu arbeiten, sowohl im Labor als auch bei der Dokumentation
Interesse an der beschriebenen Aufgabe und der Verbesserung eines innovativen oberflächenanalytischen Verfahrens


Unser Angebot
Intensives Training aller Aspekte von LEIS (idealerweise als Praktikum/Projektarbeit vor Beginn der Masterarbeit)
Einblicke in ein global agierendes Unternehmen in einem wissenschaftlichen/ hochtechnologischen Umfeld
Verantwortung für das Projekt und Raum für eigene Ideen
Kontakt
Bewerbungen bitte per E-Mail an:




Bei Fragen wenden Sie sich bitte an:

Dr. Thomas Grehl

0251/1622321
 
Third Party Job
imec
ToF-SIMS Metrology Engineer
Engineering - Leuven

As Metrology Engineer, you will perform daily ToF-SIMS analyses and will develop new approaches to address metrology challenges.


What you will do
The composition analysis team provides imec-wide support in materials characterization by means of secondary ion mass spectrometry (SIMS) using both Time-of-Flight (ToF-SIMS) and Magnetic Sector (MS-SIMS) instruments. As ToF-SIMS Metrology engineer, you will perform daily ToF-SIMS measurements to support the fab demand, the different R&D activities within imec and the PhD student works. You will also be working closely with the researchers of the SIMS team in developing for example new internal SIMS references, optimizing ToF-SIMS analysis conditions for specific requests, optimizing the ToF-SIMS instrument, ....

You perform daily ToF-SIMS analyses.
You contribute and oversee the execution, interpretation, and reporting of ToF-SIMS analyses, and you advise internal and external customers.
You investigate and develop new methods / approaches to address metrology challenges (e.g. low-dimensional nanostructures).
You document best practices and provide training to the team members.
You contribute to deliverables of funded research projects and programs.
You contribute to internal conferences/workshops.


The work will consist of experimental work, data analysis and interpretation, interaction with imec engineers/researchers, and of literature studies. As part of the Materials and Component Analysis (MCA) department, it is expected that you gain knowledge in other characterization methods in the MCA department and in the fab, and that you correlate your results to other characterization methods and to the advanced process and device technology.

 
What we do for you
We offer you the opportunity to join one of the world’s premier research centers in nanotechnology at its headquarters in Leuven, Belgium. With your talent, passion and expertise, you’ll become part of a team that makes the impossible possible. Together, we shape the technology that will define the society of tomorrow.

We are?committed to being an inclusive employer?(http://www.imec-int.com/en/careers#diversity) and proud of our open, multicultural, and informal working environment with ample possibilities to take initiative and show responsibility. In everything we do, your future colleagues are guided by the imec values of passion, excellence, connectedness, and integrity. We commit to supporting and guiding you in this process, not only with words but also with tangible actions. Through imec.academy, 'our corporate university', we actively invest in your development to further your technical and personal growth.

We are aware that your valuable contribution makes imec a top player in its field. Your energy and commitment are therefore appreciated by means of a market appropriate salary with many fringe benefits.


Who you are
You have a Master of Science / Master in Engineering or a PhD in Physics or Chemistry.
You have experience in ToF-SIMS (and Scanning Probe Microscopy) in an academic or industrial R&D lab environment.
You have strong analytical skills and intellectually creativity.
You show excellent communication and reporting skills as you will be required to interface with internal customers.
Experienced in materials characterization, both experimental and theoretical, is highly valued.
Since you will be working in a highly international environment and will be maintaining a good contact with colleagues and co-workers from all over the world, fluency in English is essential.
 

 
For more information and the full job description follow this link.

Link:  Job description imec
 
Third Party Job
The Weizmann Insitute
Research assistant
Job description
Setup, operation and maintenance of imaging mass spectrometers
Sample preparation for mass spectrometry imaging, eg cryo-sectioning
Analytical method development & MSI data analysis of MALDI and SIMS imaging data
Independent project management: from kick-off meeting, identification of the scientists' needs, performing analysis, data treatment and data presentation to the customers/scientists in close collaboration with the head of the unit
Reporting results and assisting scientists in preparing data for publication


 
Required education and skills
PhD degree in Analytical Chemistry/Chemistry or Physics in an academic institute or university
Experience in a mass spectrometry or mass spectrometry imaging an advantage
LC/MS & metabolomics of biological samples experience an advantage
Consistent record of analytical and problem-solving skills as required in an academic research institute
Strong communication skills in English, verbally and in writing and the ability to efficiently coordinate projects with customers/principle investigators in the institute
 

 
Division
Department of Life Sciences Research

Job field
lab worker

Job number
63423


For more information and the full job description follow this link.

Link:  Job description The Weizmann Insitute
 
Third Party Job
imec
ToF-SIMS and OrbitrapTM-SIMS analyses to unravel the chemistry of thin EUV photoresist layers
Leuven

Help define the future of lithography.


Photolithography is a well-established process used for patterning in microelectronic device fabrication. In Extreme Ultra-Violet (EUV) lithography – the most recent lithography technology using photons of 13.5 nm wavelength - research is ongoing regarding the fundamental resist (PR) chemistry active in the different components of chemically amplified resists (CARs), metal oxide resists (MORs), scissioning type resists, molecular resists. In the case of the well-known CAR system, multiple components are involved in its formulation (i.e. polymer, Photo Acid Generator (PAG) and quencher) at various steps of the process. Indeed, many aspects are still not fully understood, with examples including, but not limited to, the distribution of each constituent within the photoresist layer, the specific products generated by the chemical reactions involved, and the proportion of components able to efficiently carry out the reactions (i.e. acid formation, deprotection, etc.). Further research is addressed to the understanding of the underlayer underneath the resist and their relationship/interdependency.




 
Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) is a key surface analysis technique in which 1D (depth profiles), 2D (spatial imaging) and 3D (volumetric imaging) distributions of elements and molecules with a solid substrate can be derived. SIMS operates by directing an energetic ion beam, termed the primary ion beam, at the surface of interest. This induces the emission of surface atoms and molecules, with a small fraction departing in an ionized state. The departing ions, henceforth referred to as secondary ions, are extracted and passed through a mass analyzer such that all elements (H-U), isotopes thereof, as well as molecules can be identified.

When examining organic films, molecular integrity can be retained through the use of a Gas Cluster Ion Beam (GCIB) as this allows for the impact energy per atom (within the impacting molecule) to be reduced to inter-molecular bond energies. And since inter-molecular bond energies are less than intra-molecular bond energies, GCIBs provide a means to non-destructively examine organic molecules and their distributions in 1D, 2D and 3D.

Time of Flight (ToF)-SIMS is one of the most heavily used techniques to study the distribution of organics. This is due to its capability of detecting characteristic molecular peaks of the studied system with a high mass resolving power of ~104, with a lateral resolution of <100 nm, with a depth resolution of <5 nm and all to high sensitivity. However, when studying organic systems such the photoresist layers described, much higher mass resolving power might be needed to avoid any mass interference that would result in incorrect data interpretation. OrbitrapTM mass analyzers are a recent addition to the SIMS arsenal that allows for even greater mass resolving power (~20× that possible in ToF-SIMS) and the possibility for carrying out Tandem Mass Spectrometry (MS) (also called MS/MS) secondary ion peak verification. The MS/MS capability has been highly successful in the analysis of complex organic materials in mass spectrometry. This allows for greater confidence in peak assignments, especially when examining large organic molecular secondary ions.
 

 



The OrbitrapTM-SIMS analytical methodology has been already successfully applied to a variety of biological systems, especially thanks to the label-free imaging approach and the MS/MS capability, as first reported by Passarelli et al.. A first demonstration of the need for such an approach in the analysis of photoresist layers has been recently provided by Spampinato et al..

This project aims to the further application of ToF-SIMS and OrbitrapTM-SIMS methodologies (including the use of GCIB and MS/MS capabilities) to unlocking the chemistry involved during the EUV photo exposure on thin photoresist layers when the composition and the processing conditions vary. This study will also give the opportunity to find a clear logic between formulation and performances of such layers.

This work will be done in a collaboration between imec, Belgium (PR group and Materials and Components Analysis department) and National Physical Laboratory (NPL), UK, offering expertise in a multitude of characterization techniques in support of this project. The very close collaboration with the process engineers of imec and its partners warrants direct industrial impact.



For more information and the full job description follow this link. Link:  Job description imec


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All corresponding communication has to be made directly with the respective employing institution.